Синтез плёнок оксида ванадия в магнетронной распылительной системе с факельной формой рекомбинационного горения плазмы
- 1 вед. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- 2 ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Аннотация
Показана возможность получения тонких плёнок оксида ванадия на холодной аморфной подложке с аморфной или поликристаллической структурой методом магнетронного распыления; определена структура плёнки воздействием концентрированных плазменных потоков, подводимых в зону синтеза; сделан вывод о структуре растущих плёнок на основе спектров комбинационного рассеяния
Для цитирования
Александров В.А., Сердобинцев А.А. Синтез плёнок оксида ванадия в магнетронной распылительной системе с факельной формой рекомбинационного горения плазмы // Нелинейный мир. 2012. № 2. С. 105–106.
Список источников
- Сидоров А. И., Виноградова О. П., Любимов В. Ю., Нащекин А. В. Синтез и модификация микро- и наностержней из оксидов ванадия // ПЖТФ. 2008. Т. 34. В. 3. С. 90-94.
- Александров В. А., Веселов А. Г. Магнитоактивность плёнок пермаллоя, выращенных в зоне рекомбинационного горения низкотемпературной плазмы // ЖТФ. 2008. Т. 78. В. 3. С. 101-103.