Исследование взаимодействия плазмы с непроводящей поверхностью в пучково-плазменном разряде при слабом магнитном поле

В. В. Песков; Е. Г. Шустин

Исследование взаимодействия плазмы с непроводящей поверхностью в пучково-плазменном разряде при слабом магнитном поле

В. В. Песков¹, Е. Г. Шустин²

научная статья Страницы: 495

¹ аспирант ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
² д.ф.-м.н., ст. научн. сотр., вед. научн. сотр. ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Фрязинский филиал)

Ключевые слова: плазмо-химическое травление непроводящая поверхность GaAs

Аннотация

Проведен анализ взаимодействия плазмы с непроводящей поверхностью в пучково-плазменном разряде при слабом магнитном поле в камере; исследованы токи из плазмы на поверхность непроводящей пластины и потенциала этой поверхности методами компьютерного моделирования и физического эксперимента; на основе результатов моделирования выбран оптимальный режим травления и измерена скорость травления GaAs.

Для цитирования

Песков В.В., Шустин Е.Г. Исследование взаимодействия плазмы с непроводящей поверхностью в пучково-плазменном разряде при слабом магнитном поле // Нелинейный мир. 2009. № 6. С. 495.

Список источников

Исаев Н.В., Чмиль А.И., Шустин Е.Г. Ионные потоки из области пучково-плазменного разряда // Физика плазмы. 2004. Т. 30. №3. С. 257
Исаев Н.В., Шустин Е.Г., Темирязева М.П., Тараканов В.П., Федоров Ю.В. Ионные потоки из пучково-плазменного разряда в слабом магнитном поле: физика и применение // Прикладная физика. 2008. №3. С.73

[1] Исаев Н.В., Чмиль А.И., Шустин Е.Г. Ионные потоки из области пучково-плазменного разряда // Физика плазмы. 2004. Т. 30. №3. С. 257

[2] Исаев Н.В., Шустин Е.Г., Темирязева М.П., Тараканов В.П., Федоров Ю.В. Ионные потоки из пучково-плазменного разряда в слабом магнитном поле: физика и применение // Прикладная физика. 2008. №3. С.73