Investigation of plasma interaction with non-conducting surface in beam plasma discharge at low magnetic field

Peskov V.V.; Shustin E.G.

Investigation of plasma interaction with non-conducting surface in beam plasma discharge at low magnetic field

Peskov V.V.¹, Shustin E.G.²

research article Pages: 495

¹ аспирант ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
² д.ф.-м.н., ст. научн. сотр., вед. научн. сотр. ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Фрязинский филиал)

Keywords: plasma catching isolated surface GaAs

Abstract

The studies of current from plasma to isolated surface and of potential of this surface was made by means of computer simulation and physical experiment. An optimum etching regime has been chosen based on simulation results and measurement of etching rate of GaAs has been carried out.

How to cite

Песков В.В., Шустин Е.Г. Исследование взаимодействия плазмы с непроводящей поверхностью в пучково-плазменном разряде при слабом магнитном поле // Нелинейный мир. 2009. № 6. С. 495.

References

Исаев Н.В., Чмиль А.И., Шустин Е.Г. Ионные потоки из области пучково-плазменного разряда // Физика плазмы. 2004. Т. 30. №3. С. 257
Исаев Н.В., Шустин Е.Г., Темирязева М.П., Тараканов В.П., Федоров Ю.В. Ионные потоки из пучково-плазменного разряда в слабом магнитном поле: физика и применение // Прикладная физика. 2008. №3. С.73

[1] Исаев Н.В., Чмиль А.И., Шустин Е.Г. Ионные потоки из области пучково-плазменного разряда // Физика плазмы. 2004. Т. 30. №3. С. 257

[2] Исаев Н.В., Шустин Е.Г., Темирязева М.П., Тараканов В.П., Федоров Ю.В. Ионные потоки из пучково-плазменного разряда в слабом магнитном поле: физика и применение // Прикладная физика. 2008. №3. С.73