Формирование тонких пленок с наноразмерной периодичностью состава в импульсной низкотемпературной плазме
Аннотация
Показана возможность формирования наноразмерных слоев переменного состава в тонких пленках, получаемых магнетронным распылением в реактивной плазме; управление составом достигается за счет использования импульсного режима напыления с изменяемой скважностью импульсов; установлена возможность управления люминесцентными свойствами наноструктурированных пленок, при варьировании скважность импульсов; выявлено, что на основе пленок с управляемой люминесценцией возможно формирование нелинейных оптических сред, в частности, перестраиваемых люминесцентных лазеров
Для цитирования
Сердобинцев А.А. Формирование тонких пленок с наноразмерной периодичностью состава в импульсной низкотемпературной плазме // Нелинейный мир. 2009. № 3. С. 166.
Список источников
- Сердобинцев А.А., Веселов А.Г., Кирясова О.А. Свойства пленок оксида цинка, синтезированных в низкотемпературном плазменном разряде в условиях бомбардировки компонентами плазмы. - ФТП, 2008, vol. 42 (4), p. 496.
- Кузьмина И.П., Никитенко В.А. Окись цинка. Получение и оптические свойства. - М.: Наука, 1984.