Formation of Thin Films with Nano-Scale Composition Periodicity in Pulsed Low-Temperature Plasma
Abstract
The possibility of formation of nano-scale layers with different composition in thin films, deposited by the magnetron sputtering in reactive low-temperature plasma, is showed. Composition control is achieved by using a pulse operation mode with changeable on-off time pulses ratio. Photoluminescence of these films was investigated; possibility of luminescent properties control was established. Formation of nonlinear optical media, in particular luminescent lasers on the basis of these films is possible
How to cite
Сердобинцев А.А. Формирование тонких пленок с наноразмерной периодичностью состава в импульсной низкотемпературной плазме // Нелинейный мир. 2009. № 3. С. 166.
References
- Сердобинцев А.А., Веселов А.Г., Кирясова О.А. Свойства пленок оксида цинка, синтезированных в низкотемпературном плазменном разряде в условиях бомбардировки компонентами плазмы. - ФТП, 2008, vol. 42 (4), p. 496.
- Кузьмина И.П., Никитенко В.А. Окись цинка. Получение и оптические свойства. - М.: Наука, 1984.