Методика измерения параметров наноразмерных объектов
- 1 д.т.н., профессор, Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники
- 2 аспирант, Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники
- 3 магистрант, Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники
Ключевые слова:
методика поверкиоптический профилометрнаноразмерные структурыметрологические характеристикимерысредства измеренийпогрешности измерений
Аннотация
Рассмотрена методика поверки оптических профилометров модели «NEOX» для целей утверждения типа. Приведен пример практической апробации разработанной методики для измерения параметров наноразмерных структур.
Для цитирования
Анцыферов С.С., Карабанов Д.А., Моисеева Д.А. Методика измерения параметров наноразмерных объектов // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. 2015. № 3. С. 47–52.
Список источников
- Шишмарев В.Ю.Средства измерений. М.: Академия. 2013. 320 с.
- МИ 3290-2010 «ГСИ. Рекомендация по подготовке, оформлению и рассмотрению материалов испытаний средств измерений в целях утверждения типа». М.: Издательство стандартов. 2010. 32 с.
- РМГ 51-2002 «ГСИ. Документы на методики поверки средств измерений. Основные положения». М.: Издательство стандартов. 2003. 4 с.
- Анцыферов С.С., Голубь Б.И. Общая теория измерений: учеб. пособие / Под ред. акад. РАН Н.Н. Евтихиева. М.: Горячая линия - Телеком. 2007. 176 с.
- Анцыферов С.С., Афанасьев М.С. Основы теоретической метрологии: учебное пособие. М.: Икар. 2012. 208 с.
- Анцыферов С.С., Афанасьев М.С., Русанов К.Е. Обработка результатов измерений: учеб. пособие. М.: Икар. 2014. 228 с.