Особенности формирования наноразмерных фторполимерных пленок из газовой фазы на начальной стадии роста

А.А. Рогачев; П.А. Лучников; А.В. Рогачев

Особенности формирования наноразмерных фторполимерных пленок из газовой фазы на начальной стадии роста

А.А. Рогачев¹, П.А. Лучников², А.В. Рогачев³

научная статья Страницы: 35-44

¹ к.т.н., ст. научн. сотрудник, Белорусский государственный университет транспорта (г. Гомель)
² зав. лабораторией, Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет)
³ д.х.н., профессор, чл.-корр. НАН Беларуси, ректор, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины

Ключевые слова: фторполимерное покрытие адсорбция подложка активная газовая фаза пленка морфология поверхности ионная обработка термообработка

Аннотация

Рассмотрены вопросы межмолекулярного механизма взаимодействия при формировании фторполимерных покрытий из активной газовой фазы на поверхности кремниевой подложки при начальных стадиях их роста; исследованы морфологические особенности наноразмерных фторполимерных покрытий. Обработка подложки из кремния ионами как и термообработка приводит к изменению её поверхностной энергии и увеличению сплошности покрытия.

Для цитирования

Рогачев А.А., Лучников П.А., Рогачев А.В. Особенности формирования наноразмерных фторполимерных пленок из газовой фазы на начальной стадии роста // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. 2010. № 1. С. 35–44.

Список источников

Красовский А.М., Толстопятов Е.М. Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме / под ред. В.А. Белого. Минск: Наука и техника. 1989. 181 с.
Лучников А.П., Лучников П.А., Сигов А.С. Тепловой режим структурообразования фторполимерных пленок из газовой фазы // Материалы Междунар. НТК «Межфазная релаксация в полиматериалах». М.: МИРЭА. 2001. С. 119-122.
Рогачев А.В., Казаченко В.П., Буй М.В., Егоров А.И. Рост полимерных покрытий из активной газовой фазы // Материалы, технология, инструмент. 1998. Т. 3 №1. С. 60-64.
Yablokov M..Yu., Trofimchuk E.V. Emission of aerosol fine particles during thermo destruction of polymers // Abstracts of 2-nd Conf. «Natural and Anthropogenic Aerosols». St.-Petersburg. Р. 35-36.
Брук М.А, Павлов С.А. Полимеризация на поверхности твердых тел. М.: Химия. 1990. 184 c.
Чопра К.Л. Электрические явления в тонких пленках. М.: Мир. 1972. 436 c.
Кукушкин С.А., Осипов А.В. Процессы конденсации тонких пленок // УФН. 1998. Т. 168. №10. С. 1083-1116.
Паншин Ю.А., Малкевич С.Г., Дунаевская Ц.С. Фторопласты. Л.: Химия. 1978. 232 с.

[1] Красовский А.М., Толстопятов Е.М. Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме / под ред. В.А. Белого. Минск: Наука и техника. 1989. 181 с.

[2] Лучников А.П., Лучников П.А., Сигов А.С. Тепловой режим структурообразования фторполимерных пленок из газовой фазы // Материалы Междунар. НТК «Межфазная релаксация в полиматериалах». М.: МИРЭА. 2001. С. 119-122.

[3] Рогачев А.В., Казаченко В.П., Буй М.В., Егоров А.И. Рост полимерных покрытий из активной газовой фазы // Материалы, технология, инструмент. 1998. Т. 3 №1. С. 60-64.

[4] Yablokov M..Yu., Trofimchuk E.V. Emission of aerosol fine particles during thermo destruction of polymers // Abstracts of 2-nd Conf. «Natural and Anthropogenic Aerosols». St.-Petersburg. Р. 35-36.

[5] Брук М.А, Павлов С.А. Полимеризация на поверхности твердых тел. М.: Химия. 1990. 184 c.

[6] Чопра К.Л. Электрические явления в тонких пленках. М.: Мир. 1972. 436 c.

[7] Кукушкин С.А., Осипов А.В. Процессы конденсации тонких пленок // УФН. 1998. Т. 168. №10. С. 1083-1116.

[8] Паншин Ю.А., Малкевич С.Г., Дунаевская Ц.С. Фторопласты. Л.: Химия. 1978. 232 с.

Аннотация

Для цитирования

Похожие статьи