Интегрированная экспертная система диагностики качества заготовок для электронно-лучевой литографии
- 1 д.т.н., профессор, кафедра «Кибернетика», Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
- 2 аспирант, кафедра «Кибернетика», Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
- 3 к.т.н., доцент, кафедра прикладной математики и вычислительной техники, Ярославский государственный технический университет
- 4 д.ф.м.н., профессор, кафедра микроэлектроники, Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, директор Ярославского филиала физико-технологического института РАН
Ключевые слова:
интегрированная экспертная системазадачно-ориентированная методологиякомплекс АТ-ТЕХНОЛОГИЯтехническая диагностикабаза знанийнаноэлектроникаэлектронно-лучевая литография
Аннотация
Показано практическое применение задачно-ориентирован¬ной методологии и инструментального комплекса АТ-ТЕХ¬НОЛОГИЯ для построения прототипа интегрированной экспертной системы диагностики качества заготовок для электронно-лучевой литографии.
Для цитирования
Рыбина Г.В., Блохин Ю.М., Гохберг Г.С., Рудый А.С. Интегрированная экспертная система диагностики качества заготовок для электронно-лучевой литографии // Информационно-измерительные и управляющие системы. 2012. № 8. С. 21–28.
Список источников
- Рыбина Г.В.Теория и технология построения интегрированных экспертных систем. Монография. М: Научтехлитиздат. 2008.
- Рыбина Г.В.Современные интеллектуальные системы: проблемы интеграции и особенности технологии создания программного обеспечения // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 3. С. 12‑34.
- Рыбина Г.В.Интегрированные экспертные системы // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. №4. С. 22-47.
- Рыбина Г.В. Концептуальные основы задачно-ориентированной методологии построения интегрированных экспертных систем // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 5. С. 33-51.
- Рыбина Г.В.Технология построения интегрированных экспертных систем на основе задачно-ориентированной методологии // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 6. С. 28-42.
- Рыбина Г.В.Теоретические основы задачно-ориентированной методологии построения интегрированных экспертных систем // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 7. С. 27-42.
- Рыбина Г.В.Комбинированный метод приобретения знаний для построения баз знаний интегрированных экспертных систем // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 8. С. 19-41.
- Рыбина Г.В.Применение интеллектуального анализа данных для построения баз знаний интегрированных экспертных систем // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 9. С. 15-28.
- Рыбина Г.В. Модели и методы реализации интеллектуальной технологии построения интегрированных экспертных систем // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 10. С. 27-37.
- Рыбина Г.В.Инструментальный комплекс АТ-ТЕХНОЛОГИЯ для поддержки построения интегрированных экспертных систем: общая характеристика и перспективы развития // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 11. С. 17-40.
- Рыбина Г.В.Практическое применение задачно-ориентированной методологии построения интегрированных экспертных систем (обзор приложений в статических и динамических проблемных областях) // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 12.
- Щука А.А.Наноэлектроника. М.: Физматкнига. 2007.
- Ларман К.Применение UML и шаблонов проектирования. Изд. 2-е: пер. с англ. М.: Издательский дом Вильямс. 2002.
- Рыбина Г.В. Интеллектуальные обучающие системы на основе интегрированных экспертных систем: опыт разработки и использования // Информационно-измерительные и управляющие системы. 2011. № 10. С. 4-16.