В.Е. Сергеев1

1 ФГУП «РФЯЦ-ВНИИЭФ» (г. Саров, Россия)

1 sergeev1980sergeev@yandex.ru

Постановка проблемы. Прогресс в современной микроэлектронике во многом определяется развитием тонкопленочных технологий, позволяющих формировать новые структуры с уникальными свойствами для создания СВЧ устройств. Значения выходных характеристик разрабатываемых СВЧ-устройств зависят от точности параметров элементов микрополосковых плат. Создание современных радиоэлектронных систем и приборов СВЧ-диапазона с повышенной функциональной сложностью, надежностью и меньшими массогабаритными параметрами требует повышения точности выполнения элементов микрополосковых плат.

Цель. Исследовать возможности улучшения параметров микрополосковых плат (повышение функциональной сложности, надежности и стабильности) путем совершенствования технологий вакуумного напыления и фотолитографического травления.

Результаты. Проведены комплексные исследования по подготовке поверхности, вакуумному напылению и фотолитографическому травлению с применением фоторезиста с повышенной разрешающей способностью, позволившие изготовить микрополосковые платы с переходными металлизированными отверстиями и предельным допуском ширины элементов топологического рисунка ±5 мкм.

Практическая значимость. Представленная технология успешно применяется для изготовления СВЧ-устройств.

Сергеев В.Е. Совершенствование технологии изготовления микрополосковых плат // Успехи современной радиоэлектроники. 2026. T. 80. № 8. С. 68–73. DOI: https://doi.org/10.18127/j20700784-202608-09

1. Невлюдов И.Ш., Жарикова И.В., Перепелица И.Д., Резниченко А.Г. Анализ методов контроля шероховатости подложек для электронной техники // Прикладная физика. 2014. № 2/5. С. 25–29.
2. Исмаилов Т.А., Шангереева Б.А., Шахмаева А.Р. Способ получения тонких пленок (Ta2O5) для интегральных схем // Изв. вузов. Сев.-Кавк. регион. Техн. Науки. 2006. № 1. С. 48–51.
3. Патент №2773180 РФ. Раствор для травления меди и ее сплавов (варианты) / Чухманов Е.П. Заявл. 07.12.2021. Опубл. 31.05.2022. Бюл. № 16.
4. Тычков И.С. Лазерная перфорация глубоких микронных отверстий в керамике Al2O3 // Сб. трудов машиностроения. 2012. С. 44–45.
5. Патент №2708720 РФ. Способ получения покрытия, поглощающего лазерное излучение, и состав для его нанесения / Гудина Т.Л., Сергеев В.Е. Заявл. 11.03.2019. Опубл. 11.12.2019. Бюл. № 35.
6. Патент №2242823 РФ. Способ изготовления ГИС СВЧ на керамических подложках / Смирнов С.В., Дохтуров В.В., Глазунова Н.В. Заявл. 21.08.1995. Опубл. 20.12.2004. Бюл. № 35.
7. Патент №1820831 РФ. Способ металлизации отверстий в диэлектрической подложке / Серяков Ю.В., Соколова Т.И., Орлова Е.В. Заявл. 12.03.96. Опубл. 10.03.96. Бюл. № 7.
8. Светлаков Ю.А. Совершенствование и развитие технологической базы проектирования и изготовления СВЧ устройств // Материалы XXIII Междунар. науч.-технич. конф. «Информационные системы и технологии», ИСТ-2017. Нижний Новгород: НГТУ им. Р.Е. Алексеева. 2017. С. 1344–1349.
9. Козлов В.А., Светлаков Ю.А., Седаков А.Ю. Развитие структуры технологического обеспечения при системном проектировании и изготовлении СВЧ компонентов бортовых радиоэлектронных систем // Проектирование и технология электронных средств. 2018. № 3. С. 23–29.