СВЧ-термоаттенюаторы из отечественных материалов для Кu-диапазона частот

Постановка проблемы. Низкотемпературная технология совместного обжига керамических материалов (LTCC) получила широкое распространение благодаря ее применению в беспроводных устройствах, радиолокационных модулях и во всех областях, где важны высокая интеграция и надежность. Ее применение в СВЧ-термоаттенюаторах позволяет подстраивать уровень усиления сигнала при изменении температуры за счет использования толстопленочных термисторов.

Цель. Провести исследование нескольких факторов, влияющих на параметры термисторов: декапирование и взаимодействие термистора с защитной пастой.

Результаты. Проведено исследование СВЧ-термоаттенюаторов на основе LTCC-технологии и толстопленочных резисторов (термисторов), имеющих положительный и отрицательный температурный коэффициент сопротивления. Дана оценка влияния толщины термистора, операции декапирования и взаимодействия с защитной пастой на основные характеристики терморезистивных паст. Выполнены измерения характеристик СВЧ-термоаттенюаторов на частотах до 18 ГГц. Рассмотрены зависимости коэффициента стоячей волны и коэффициента ослабления от частоты при нормальных условиях в диапазоне температур от –40ºС до +85ºС.

Практическая значимость. Результаты измерений изготовленных СВЧ-термоаттенюаторов по LTCC-технологии на основе отечественных материалов (керамики СКМ и терморезистивных паст производства ООО «ЭЛМА-ПАСТЫ») в диапазоне частот от 0,01 до 18 ГГц с высокой точностью совпали с результатами моделирования.