Тонкопленочная миниатюрная резистивная нагрузка для интегральных схем СВЧ с повышенной импульсной мощностью

А.С. Белов; В.И. Крючатов

doi:10.18127/j20700784-201905-02

Тонкопленочная миниатюрная резистивная нагрузка для интегральных схем СВЧ с повышенной импульсной мощностью

А.С. Белов¹, В.И. Крючатов²

научная статья УДК 621.375.018.756 Страницы: 20-24 doi.org/10.18127/j20700784-201905-02

¹ первый зам. ген. директора, АО «НПО «Радиоэлектроника» им. В.И. Шимко
² д.т.н., доцент, нач. лаборатории отдела гл. технолога, АО «НПО «Радиоэлектроника» им. В.И. Шимко

Ключевые слова: Тонкопленочная интегральная схема СВЧ согласованная резистивная нагрузка импульсная мощность

Аннотация

Проведено экспериментальное исследование физики отказа резисторов, на основе которого разработаны конструкция, технология изготовления и методика расчета согласованных тонкопленочных резистивных нагрузок, надежно работающих при воздействии импульсной СВЧ-мощности до 2…5 кВт при размерах от 2х2 до 4х8 мм, что позволило обеспечить заданные габаритные размеры СВЧ-устройств.

Для цитирования

Белов А.С., Крючатов В.И. Тонкопленочная миниатюрная резистивная нагрузка для интегральных схем СВЧ с повышенной импульсной мощностью // Успехи современной радиоэлектроники. 2019. № 5. С. 20–24. DOI: https://doi.org/10.18127/j20700784-201905-02

Список источников

Крючатов В.И., Насыров И.К. Исследование предельной импульсной мощности рассеяния резистивных пленок на подложках СВЧ интегральных схем // Вестник КГТУ им. А. Н. Туполева (г. Казань). 1998. № 2. С. 19–22.
Тишер Ф. Техника измерений на сверхвысоких частотах. Справочное руководство / Пер. с нем. под ред. В.Н. Сретенского. М.: Физматгиз. 1963.
Справочник по расчету и конструированию СВЧ полосковых устройств / Под ред. В.И. Вольмана. М.: Радио и связь. 1982.
Коледов Л.А., Волков В.А., Докучаев Н.И. и др. Конструирование и технология микросхем: Учеб. пособие / Под ред. Л.А. Коледова. М.: Высшая школа. 1984.
Крючатов В.И. Применение персонального компьютера для расчета прецизионных резистивных элементов интегральных схем по методике, учитывающей контактные сопротивления // Вестник КГТУ им. А. Н. Туполева (г. Казань). 2007. № 1. С. 33–37.
Крючатов В.И. Экспериментальное исследование технологических погрешностей и контактных сопротивлений тонкопленочных резистивных структур // Вестник КГТУ им. А. Н. Туполева (г. Казань). 2010. № 1. С. 48–53.

[1] Крючатов В.И., Насыров И.К. Исследование предельной импульсной мощности рассеяния резистивных пленок на подложках СВЧ интегральных схем // Вестник КГТУ им. А. Н. Туполева (г. Казань). 1998. № 2. С. 19–22.

[2] Тишер Ф. Техника измерений на сверхвысоких частотах. Справочное руководство / Пер. с нем. под ред. В.Н. Сретенского. М.: Физматгиз. 1963.

[3] Справочник по расчету и конструированию СВЧ полосковых устройств / Под ред. В.И. Вольмана. М.: Радио и связь. 1982.

[4] Коледов Л.А., Волков В.А., Докучаев Н.И. и др. Конструирование и технология микросхем: Учеб. пособие / Под ред. Л.А. Коледова. М.: Высшая школа. 1984.

[5] Крючатов В.И. Применение персонального компьютера для расчета прецизионных резистивных элементов интегральных схем по методике, учитывающей контактные сопротивления // Вестник КГТУ им. А. Н. Туполева (г. Казань). 2007. № 1. С. 33–37.

[6] Крючатов В.И. Экспериментальное исследование технологических погрешностей и контактных сопротивлений тонкопленочных резистивных структур // Вестник КГТУ им. А. Н. Туполева (г. Казань). 2010. № 1. С. 48–53.