Оценка добротности балочного микрорезонатора с учетом многослойности его структуры
- 1 д.т.н., профессор, директор института радиотехники, электроники и связи, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
- 2,3 к.т.н., доцент, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
- 4 к.э.н., доцент, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения П.А. Окин - аспирант, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
Аннотация
Рассмотрена усовершенствованная методика расчета добротности микромеханических резонаторов, применяемых в качестве вторичных измерительных преобразователей в МЭМС с частотно-модулированным выходным сигналом. На основе решения уравнения термоупругости для данной колебательной системы найдено распределение температуры в объеме резонатора, что позволяет рассчитать термоупругую компоненту внутреннего трения в балке и получить уточненное значение добротности.
Для цитирования
Бестугин А.Р., Филонов О.М., Овчинникова Н.А., Киршина И.А. Оценка добротности балочного микрорезонатора с учетом многослойности его структуры // Успехи современной радиоэлектроники. 2018. № 2. С. 46–50.
Список источников
- Бидерман В.А. Теория механических колебаний. М.: Высшая школа. 1980.
- Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микроэлектроники. М.: Мир. 1985.
- Hamed Sadeghian, Hans Goosen, Andre Bossche, Barend Thijsse, Fred van Keulen On the size-dependent elasticity of silicon nanocantilevers: impact of defects // Journal of Physics D: Applied Physics. IOP Publishing. 2011. № 44 (7). P. 72001.
- Пономарев С.Д., Андреева Л.Е. Расчет упругих элементов машин и приборов. М.: Машиностроение. 1980.
- Bishop J.E., Kinra V.K. Elastothermodynamic damping of laminated beam in flexure and extension // J. Appl. Mech. 1995. № 62(2). P. 441–449. doi: 10.1115/1.2895950
- Chawla K. Composite materials science and engineering. Springer Science & Business Media. 1998.