Микро - и наноэлектромеханические резонаторы - функциональные компоненты перспективных систем обработки и передачи сигналов

А.Р. Бестугин; О.М. Филонов; И.А. Киршина

Микро - и наноэлектромеханические резонаторы - функциональные компоненты перспективных систем обработки и передачи сигналов

А.Р. Бестугин¹, О.М. Филонов², И.А. Киршина³

научная статья Страницы: 42-44

¹ д.т.н., доцент, директор, Институт радиотехники, электроники и связи
² к.т.н., доцент, кафедра «Микро- и нанотехнологии аэрокосмического приборостроения», ФГАОУ ВПО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
³ к.э.н., доцент, кафедра «Микро- и нанотехнологии аэрокосмического приборостроения», ФГАОУ ВПО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения

Ключевые слова: микро- и наноэлектромеханические системы микро- и нанорезонаторы лопастные резонаторы балочные резонаторы консоль размерные факторы модуль упругости

Аннотация

Приведены результаты исследований микро- и наноэлектромеханических резонаторов ГГц-диапазона. Проанализированы проблемы, связанные с разработкой теоретических моделей этих устройств, учитывающих влияние размерных факторов. Рассмотрены задачи детерминирования колебаний резонаторов для субнанометрового диапазона амплитуд. Проведена оценка применимости существующих технических средств в качестве вторичных измерительных преобразователей в МЭМ и НЭМ резонаторах.

Для цитирования

Бестугин А.Р., Филонов О.М., Киршина И.А. Микро - и наноэлектромеханические резонаторы - функциональные компоненты перспективных систем обработки и передачи сигналов // Успехи современной радиоэлектроники. 2014. № 12. С. 42–44.

Список источников

Филонов О.М., Киршина И.А., Окин П.А. Особенности проектировании чувствительных элементов МЭМС с резонансными измерительными преобразователями // Фундаментальные и прикладные исследования в современном мире: IV Междунар. науч.-практ. конф. Дек. 2013. Санкт-Петербург. 2013. С. 37-39.
Bestugin А., Filonov О.M., Kirshina I.A., Okin P.A. Operated change of mechanical properties of silicon at its alloying // European science review. May-June. № 5‑6/2014. P. 43-46.
Li X., Ono T. Study on Ultra - thin NEMS cantilever ? high yield fabrication and size effect on Young-s modulus of silicon / Micro Electro Mechanical System. The Fifteenth IEEE International Conference. 2002.

[1] Филонов О.М., Киршина И.А., Окин П.А. Особенности проектировании чувствительных элементов МЭМС с резонансными измерительными преобразователями // Фундаментальные и прикладные исследования в современном мире: IV Междунар. науч.-практ. конф. Дек. 2013. Санкт-Петербург. 2013. С. 37-39.

[2] Bestugin А., Filonov О.M., Kirshina I.A., Okin P.A. Operated change of mechanical properties of silicon at its alloying // European science review. May-June. № 5‑6/2014. P. 43-46.

[3] Li X., Ono T. Study on Ultra - thin NEMS cantilever ? high yield fabrication and size effect on Young-s modulus of silicon / Micro Electro Mechanical System. The Fifteenth IEEE International Conference. 2002.