Исследование поверхностных структур при изготовлении лангаситовых пьезоэлементов Y-среза
- 1 вед. инженер ФГУП «Омский НИИ приборостроения»
- 2 инженер-химик ФГУП «Омский НИИ приборостроения»
- 3 инженер-технолог ФГУП «Омский НИИ приборостроения»
Аннотация
Изучена динамика изменения поверхности лангаситовых пластин в технологических режимах механической обработки и химического травления. На основе пьезокварцевого производства оптимизирован процесс изготовления ЛГС кристаллических элементов для высокочастотных резонаторов. Отработана методика термовакуумного напыления защитного покрытия (медь) и электродного покрытия (серебро) с подслоем ванадия.
Для цитирования
Ярош А.М., Прохоренко О.В., Ермоленко С.В. Исследование поверхностных структур при изготовлении лангаситовых пьезоэлементов Y-среза // Успехи современной радиоэлектроники. 2010. № 12. С. 45–50.
Список источников
- Laffey, S.,Hendrickson, M. and Vig, J. R.,Polishing and Etching Langasite and Quartz Cristals // IEEE International Frequency Control Symposium. 1994. P. 245-250.
- Gotalskaja, A. N.,at al. Langasite Crystal Quality Improvement Aimed at High - Q Resonators Fabrication // IEEE International Frequency Control Symposium. 1995. P. 657-666.
- Прохоренко О. В., Ярош А. М. Экспресс-технология обработки лангасита в производстве высокочастотных резонаторов // Тезисы доклада. Юбилейная научно-техническая конференция «Современное состояние и перспективы развития специальных систем радиосвязи и радиоуправления», 15-16 декабря 2008г., г. Омск.
- Патент 2301 141 РФ. Способ обработки подложек монокристаллического лантангаллиевого силиката / Фирма ОАО «Фомос Материалс». С1 от30.11.2005.
- Lowe, A. T.,MetallizationofQuartzOscillator// Proc. 35 AFCS. 1981. P. 45-48.
- Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы / под. ред. В. В. Лучинина, Ю. М. Таирова. М: Физматлит. 2006.