Исследования в области физики и технологии наноэлектроники в ИПТМ РАН
Аннотация
Приведены основные результаты, полученные в последние годы в ИПТМ РАН в области нанотехнологии и физики наноразмерных объектов.
Для цитирования
Аристов В.В. Исследования в области физики и технологии наноэлектроники в ИПТМ РАН // Успехи современной радиоэлектроники. 2004. № 5-6.