Инструменты нанотехнологии: состояние и перспективы развития
Аннотация
Представлено текущее состояние, направления и перспективы разработок инструментов нанотехнологии на основе сканирующих зондовых устройств. Рассмотрены сканирующие зондовые микроскопы, зондовые лаборатории и зондовые фабрики. Приводятся примеры отечественных разработок зондовых приборов.
Для цитирования
Быков В.А., Рябоконь. В.Н. Инструменты нанотехнологии: состояние и перспективы развития // Успехи современной радиоэлектроники. 2004. № 5-6.