С.Б. Беневоленский

S.B. Benevolenskiy

1 статья 2012

Наукоемкие технологии 1

2012

Совершенствование конструкции магнетронного реактора для травления материалов в низкотемпературной плазме Наукоемкие технологии, №2 за 2012 г. С. 16-19