А.М. Михальков

2010

1. Контроль качества диэлектрических слоев интегральных микросхем и изделий микросистемной техники Вакуумная, плазменная и твердотельная электроника, №1 за 2010 г. С. 44-52
2. Контроль качества диэлектрических слоев интегральных микросхем и изделий микросистемной техники Наукоемкие технологии, №7 за 2010 г. С. 44-52