К. А. Воротилов

K. A. Vorotilov

1 статья 2009

Наукоемкие технологии 1

2009

ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОД ФОРМИРОВАНИЯ МЕЗАПОРИСТЫХ СИЛИКАТОВ ДЛЯ СИСТЕМ МНОГОУРОВНЕВОЙ РАЗВОДКИ СБИС И МЭМС-ТЕХНОЛОГИИ Наукоемкие технологии, №11 за 2009 г. С. 37-43