Шерченков А.А.

1 статья 2005

Наукоемкие технологии 1

2005

Сплавы a-SiC:H и a-SiGe:H, полученные в низкочастотной плазме (55 кГц) тлеющего разряда Наукоемкие технологии, №3-4 за 2005 г.