К.Н. Бугорков

K.N. Bugorkov

3 статьи 2020–2024

Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век 3

2024

Анализ высокочастотного разряда при плазмохимическом травлении кварцевого стекла гексафторидом серы Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век, №2 за 2024 г. С. 54-71

2023

Плазмохимическое травление кварцевого стекла гексафторидом серы Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век, №3 за 2023 г. С. 32-46

2020

Расчет электромагнитного поля плоского индуктора установки плазмохимического травления Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век, №1 за 2020 г. С. 29-42