О перспективах и применениях структур КНИ

Графутин В.И.; Залужный А.Г.; Калугин В.В.; Прокопьев Е.П.; Суворов А.Л.; Тимошенков С.П.; Чаплыгин Ю.А.

О перспективах и применениях структур КНИ

Графутин В.И.¹, Залужный А.Г.², Калугин В.В.³, Прокопьев Е.П.⁴, Суворов А.Л.⁵, Тимошенков С.П.⁶, Чаплыгин Ю.А.⁷

research article

Abstract

Обсуждены проблемы производства и основных применений структур кремний на изоляторе (КНИ) в современной науке и технике; показано, что предложенный метод синтеза поверхности кремния с заданным химическим составом ее активации и модификации с использованием специальной термообработки во влажных условиях (включая и возможность химической сборки поверхности методом молекулярного наслаивания) позволяет получать высококачественные структуры КНИ в процессе газового скалывания.

How to cite

Графутин В.И., Залужный А.Г., Калугин В.В., Прокопьев Е.П., Суворов А.Л., Тимошенков С.П., Чаплыгин Ю.А. О перспективах и применениях структур КНИ // Наукоемкие технологии. 2005. № 3-4.