А.А. Ворожейкин - вед. инженер, ООО «Базовые технологии вакуумных приборов» (Москва). E-mail: alevor@mail.ru И.А. Гузилов - к.т.н., гл. конструктор, ООО «Базовые технологии вакуумных приборов» (Москва). E-mail: iag@bk.ru Е.В. Демидов - к.э.н., ген. директор, ООО «Базовые технологии вакуумных приборов» (Москва). E-mail: 2101-80@mail.ru А.А. Корнюхин - вед. инженер, ООО «Базовые технологии вакуумных приборов» (Москва). E-mail: iag@bk.ru А.В. Красиков - ст. инженер, ООО «Базовые технологии вакуумных приборов» (Москва). E-mail: san1315@mail.ru А.В. Крылов - начальник отдела, ООО «Базовые технологии вакуумных приборов» (Москва). E-mail: iag@bk.ru О.Ю. Масленников - д.т.н., профессор, зам. ген. директора по науке, ООО «Базовые технологии вакуумных приборов» (Москва). E-mail: maslennikov_o@mail.ru М.А. Токаев - помощник ген. директора, ООО «Базовые технологии вакуумных приборов» (Москва). E-mail: btvp81@mail.ru

Е.П. Шешин1, А.А. Алябьев2, А.Д. Кибирский3, Д.М. Фун4

1-4 Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)

1 sheshin.ep@mipt.ru; 2 aliabev.aa@phystech.edu; 3 andrejkibirskij@gmail.com; 4 phungducmanh@phystech.edu