Ю. П. Кирин к.т.н., доцент Березниковского филиала Пермского ГТУ (БФ ПГТУ). В. Ф. Беккер к.т.н., профессор Березниковского филиала Пермского ГТУ (БФ ПГТУ). А. В. Затонский к.т.н., доцент, зав. кафедрой Березниковского филиала Пермского ГТУ (БФ ПГТУ)

А.К. Горбунов - д.ф.-м.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: kf_mgtu_fiz@mail.ru А.П. Коржавый - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: fn2kf@list.ru Л.В. Лысенко - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: baldprice@mail.ru А.Л. Лысенко - к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана В.К. Шаталов - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: vkshatalov@yandex.ru

Л.В. Лысенко1, Д.М. Ахмелкин2, В.К. Шаталов3, А.К. Горбунов4

1, 2 АО «Опытно-конструкторское бюро микроэлектроники» (г. Калуга, Россия)
3, 4 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
(национальный исследовательский университет) (г. Калуга, Россия)
1–4 vkshatalov@yandex.ru