Е. С. Балака - магистр техники и технологий. Институт Проблем Проектирования в Микроэлектронике РАН (ИППМ РАН). E-mail: Ssapra@hotbox.ru Д. В. Тельпухов - магистр техники и технологий. Институт Проблем Проектирования в Микроэлектронике РАН (ИППМ РАН). E-mail: NoFrost@inbox.ru