А.С. Бугаев1, С.И. Ивашов2, В.В. Разевиг3

1 Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)  (г. Долгопрудный, Московская область, Россия)

2,3 МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)