А.Н. Шебанов - инженер, кафедра физики полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет E-mail: bigbugov@mail.ru Е.В. Богатиков - к.ф.-м.н., доцент, кафедра физики полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет. E-mail: me144@phys.vsu.ru Л.А.Битюцкая - к.хим.н., доцент, кафедра физики полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет. E-mail: me144@phys.vsu.ru Е.Н. Бормонтов - д.ф.-м.н., проф., зав. кафедрой полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет. E-mail: me144@phys.vsu.ru

А.Н. Шебанов - инженер, кафедра физики полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет. E-mail: bigbugov@mail.ru Е.В. Богатиков - к.ф.-м.н., доцент, кафедра физики полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет. E-mail: me144@phys.vsu.ru Л.А. Битюцкая - к.хим.н., доцент, кафедра физики полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет. E-mail: me144@phys.vsu.ru Е.Н. Бормонтов - д.ф.-м.н., проф., зав. кафедрой полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет. E-mail: me144@phys.vsu.ru