А.Л. Хвалин - к.т.н., доцент, Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского. E-mail: khvalin63@mail.ru Л.С. Сотов - д.т.н., профессор, Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского. E-mail: slskit@mail.ru А.В. Россошанский - директор, Объединенный институт микро- и наноэлектроники, г. Саратов. E-mail: nova@sgu.ru