Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову system functioning control
Методика контроля качества функционирования системы управления калибровкой эталонных мер нанометрии

С.С. Анцыферов1, К.Н. Фазилова2, К.Е. Русанов3

1–3 МИРЭА – Российский технологический университет (Москва, Россия)