С.Н. Новиков – к.т.н., ст. науч. сотрудник, Институт нано- и микросистемной техники 

Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва, Зеленоград) E-mail: aviary@mail.ru

А.И. Ермолаева – к.т.н., доцент, Институт нано- и микросистемной техники 

Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва, Зеленоград)

В.А. Жигалов – к.т.н, инженер, Институт нано- и микросистемной техники 

Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва, Зеленоград) E-mail: zhigalov@gmail.com

Н.Е. Коробова – д.х.н., профессор, ст. науч. сотрудник, Институт нано- и микросистемной техники Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва, Зеленоград) E-mail: korobova3@mail.ru