К. А. Валиев - академик РАН, Советник РАН, зав. кафедрой физических и технологических проблем микроэлектроники, Физико-технологический институт РАН E-mail: valiev@ftian.ru В. В. Вьюрков - к.ф.-м.н., доц. кафедры физических и технологических проблем микроэлектроники, Физико-технологический институт РАН, вед. научн. сотрудник ФТИАН E-mail: vyurkov@ftian.ru А. А. Орликовский - академик РАН, зам. зав. кафедрой физических и технологических проблем микроэлектроники МФТИ, директор, ФТИАН E-mail: orlikovsky@ftian.ru