В.А. Васин - к.т.н., доцент, Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ. E-mail: ienmiem@mail.ru Е.Н. Ивашов - д.т.н., проф., Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ. E-mail: vacuumwa@list.ru С. В. Степанчиков - к.т.н., доц., Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ. E-mail: vacuumwa@ya.ru А.С. Черноусова - инженер, Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ