Р.К. Яфаров – д.т.н., профессор, зав. лабораторией субмикронной электронно-ионной технологии,  Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

E-mail: pirpc@yandex.ru

Д.В. Нефедов – к.т.н., науч. сотрудник,  лаборатория субмикронной электронно-ионной технологии, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: nefedov_dv@rambler.ru