Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову physical vapor deposition (pvd)
Влияние технологических факторов магнетронного напыления на сопротивление тонкопленочных резисторов

Г.Р. Сагателян1, С.Ю. Новиков2, А.В. Шишлов3

1–3 МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)
1 h_sagatelyan@mail.ru, 2 chyjd@yandex.ru, 3 orange_a@list.ru