Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову photolitography
Разработка планарных замедляющих систем на диэлектрических подложках для приборов вакуумной микроэлектроники миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов
А.И. Бенедик - аспирант, инженер, Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского. E-mail: andrej-benedik@yandex.ru А.Г. Рожнев - ст. науч. сотрудник, Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского. E-mail: RozhnevAG@info.sgu.ru Н.М. Рыскин - д.ф.-м.н., профессор, зав. кафедрой, Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: RyskinNM@info.sgu.ru Н.И. Синицын - д.ф.-м.н., зам. директора, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: SinitsynNI@gmail.com Г.В. Торгашов - к.ф.-м.н., зав. лабораторией, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: TorgashovGV@gmail.com П.Д. Шалаев - к.т.н., начальник отдела, АО «НПП «Алмаз» (г. Саратов). E-mail: p.d.shalaev@yandex.ru