В.В. Курганов¹, В.И. Джиган²

1 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва, г. Зеленоград, Россия)

2 ФГБУН «Институт проблем проектирования в микроэлектронике» Российской академии наук  (Москва, г. Зеленоград, Россия)