М.М. Гурарий - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Институт проблем проектирования в микроэлектронике РАН (Москва (г. Зеленоград)). E-mail gourary@yandex.ru М.М. Жаров - к.т.н., доцент, вед. науч. сотрудник, Институт проблем проектирования в микроэлектронике РАН (Москва (г. Зеленоград)). E-mail: zarov@ippm.ru С.Г. Русаков - д.т.н., чл.-корр. РАН, гл. науч. сотрудник, Институт проблем проектирования в микроэлектронике РАН (Москва (г. Зеленоград)). E-mail: rusakov@ippm.ru С.Л. Ульянов - д.т.н., зав. отделом, Институт проблем проектирования в микроэлектронике РАН (Москва (г. Зеленоград)). E-mail: ulyas@ippm.ru