Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову microelectromechanics
М.В. Никитин1, С.Г. Зыбцев2, В.Я. Покровский3, Б.А. Логинов4
1−3 ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва, Россия)
4 НИУ МИЭТ (г. Зеленоград, Россия)