Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову micro-impurities.
В.И. Капустин – д.ф.-м.н., профессор, вед. специалист, Технический центр «Базовые технологии ЭВП», АО «Плутон» (Москва); профессор, кафедра наноэлектроники, РТУ МИРЭА (Москва) E-mail: kapustin@mirea.ru
И.П. Ли – к.т.н., директор, Технический центр «Базовые технологии ЭВП», АО «Плутон» (Москва) E-mail: i.li@pluton.msk.ru
А.В. Шуманов – зам. директора, Технический центр «Базовые технологии ЭВП», АО «Плутон» (Москва) E-mail: alexeyshumanov@yandex.ru
С.О. Москаленко – бакалавр, инженер-технолог 1-й кат., Технический центр «Базовые технологии ЭВП», АО «Плутон» (Москва)
E-mail: s.o.mockalenko@gmail.com