И. Н. Русяев - ассистент, соискатель, кафедра конструирования и производства микроэлектронной аппаратуры, Казанский государственный технический университет им. А. Н. Туполева. E-mail: roosnick @ kipmea.kstu-kai.ru Н. Н. Русяев - к. т. н., доцент, кафедра конструирования и производства микроэлектронной аппаратуры, Казанский государственный технический университет им. А. Н. Туполева. E-mail: roosnick @ kipmea.kstu-kai.ru