Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову mems technology
С. А. Доберштейн - к.т.н., вед. науч. сотрудник, ОАО «Омский научно-исследовательский институт приборостроения». E-mail: info@oniip.ru
И. В. Гончаров - инженер, ОАО «Омский научно-исследовательский институт приборостроения». E-mail: info@oniip.ru