И.К. Насыров - д. т. н., проф., проректор, директор НИИ нанотехнологий и наноматериалов КГТУ им. А.Н. Туполева, зав. кафедрой конструирования и производства микроэлектронной аппаратуры, КГТУ им. А.Н.Туполева. E-mail: pumr@rektorat.kstu-rai.ru; nasyrov@admin.kstu-rai.ru Д.Н. Валеева - аспирант, КГТУ им. А.Н. Туполева З.Я. Халитов - к. ф.-м. н., доцент, зав. лабораторией структурных исследований НИИ нанотехнологий и наноматериалов, доцент кафедры конструирования и производства микроэлектронной аппаратуры КГТУ им. А.Н. Туполева. E-mail: zufar02_53@mail.ru