Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову etch-ing selectivity
Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2, А.Б. Соломашенко3, А.С. Кузнецов4
1–4 МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)