Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову emission angle
Формирование неравномерности толщины покрытия при напылении кольцевыми магнетронами на установках планетарного типа

Г.Р. Сагателян1, С.Ю. Новиков2, М.Н. Былинкин3, А.В. Шишлов4

1,2,4 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)
3АО ЦЭНКИ – филиал НИИПМ им. акад. В.И. Кузнецова (Москва, Россия)
1 h _sagatelyn@maul. ru, 2 chyjd@yandex.ru, 3 bylinkin5858@mail.ru, 4 orange_a@list.ru