Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову argon pressure
Влияние технологических факторов магнетронного напыления на сопротивление тонкопленочных резисторов

Г.Р. Сагателян1, С.Ю. Новиков2, А.В. Шишлов3

1–3 МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)
1 h_sagatelyan@mail.ru, 2 chyjd@yandex.ru, 3 orange_a@list.ru