Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову шероховатость поверхности пленок
Влияние технологических параметров магнетронного распыления на механические напряжения и шероховатость поверхности пленок молибдена
В.Н. Зима - к.т.н., вед. науч. сотрудник, ОАО «Омский научно-исследовательский институт приборостроения». E-mail: info@oniip.ru Т.Н. Танская - мл. науч. сотрудник, ОАО «Омский научно-исследовательский институт приборостроения». E-mail: info@oniip.ru