Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову химическое осаждение
Формирование сегнетоэлектрических наноструктур для нового поколения устройств микро- и наноэлектроники
К.А. Воротилов - д.т.н., профессор, Московский государственный институт радиотехники электроники и автоматики (технический университет). E-mail: vorotilov@mirea.ru А.С. Сигов - чл.-корр. РАН, зав. кафедрой, Московский государственный институт радиотехники электроники и автоматики (технический университет) А.А. Романов - начальник отделения, ОАО «Ангстрем», г. Зеленоград Моск. обл. П.Р. Машевич - к.т.н., зам. генерального директора, ОАО «Ангстрем», г. Зеленоград Моск. обл.
Наноструктурные особенности сегнетоэлектрических композиций, сформированных при различных температурах отжига слоя ЦТС
К.А. Воротилов - д.т.н., профессор, кафедра физики конденсированных сред, Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет). Е-mail: vorotilov@mirea.ru О.М. Жигалина - к.ф-м.н., с.н.с. Института Кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН (Москва) Д.С. Серегин - Аспирант, Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет)
Нанопористые силикатные пленки, сформированные золь-гель методом
В.А. Васильев - ст. научн. сотрудник, Московский государственный технический университет МИРЭА. Е-mail: vasiljev@mirea.ru Д.С. Серегин - к.т.н., мл. научн. сотрудник, Московский государственный технический университет МИРЭА. Е-mail: d_seregin@mirea.ru К.А. Воротилов - д.т.н., профессор, Московский государственный технический университет МИРЭА. Е-mail: vorotilov@mirea.ru
Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в индуктивно-связанной плазме
А.Е. Ануров - аспирант, Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет). Е-mail: anurov_aleksey@mail.ru. А.А. Данилов - инженер-исследователь, ОАО «Российские космические системы» (Москва) А.А. Жуков - д.т.н., профессор, зам. начальника центра по науке, ОАО «Российские космические системы» (Москва). Е-mail: contact@rniikp.ru
Формирование сегнетоэлектрических наноструктур для нового поколения устройств микро- и наноэлектроники
К.А. Воротилов - д.т.н., профессор, Московский государственный институт радиотехники электроники и автоматики (технический университет). E-mail: vorotilov@mirea.ru А.С. Сигов - чл.-корр. РАН, зав. кафедрой, Московский государственный институт радиотехники электроники и автоматики (технический университет). А.А. Романов - начальник отделения, ОАО «Ангстрем», г. Зеленоград Моск. обл. П.Р. Машевич - к.т.н., зам. генерального директора, ОАО «Ангстрем», г. Зеленоград Моск. обл.