Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову фотошаблоны
Особенности проектирования фотошаблонов для производства наноразмерных полупроводниковых СБИС
А.В. Корнюхин - вед. специалист, ЗАО «СКАН». E-mail: a.kornuhin@scanru.ru С.А. Курдюков - зам. генерального директора, ЗАО «СКАН». E-mail: sergey@scanru.ru А.Н. Ланцев - генеральный директор, ЗАО «СКАН». E-mail: lan@scanru.ru М.В. Старилов - начальник отдела, ЗАО «СКАН». E-mail: mikhail@scanru.ru