В.К. Егоров - к.ф.м.н. ст. науч. сотрудник, Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (г. Черноголовка, Моск. обл.). E-mail: egorov@iptm.ru Е.В. Егоров - мл. науч. сотрудник, Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (г. Черноголовка, Моск. обл.). E-mail: hed1317@mail.ru М.С. Афанасьев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Институт радиотехники и электроники РАН (Москва - Фрязино, Моск. обл.). E-mail: michaela2005@yandex.ru Е.М. Лукьянченко - к.ф-м.н., науч. руководитель, ОАО «Полюс» (Санкт-Петербург). E-mail: emluk@mail.ru