В.К. Егоров - к.ф.м.н. ст. науч. сотрудник, Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (г. Черноголовка, Моск. обл.). E-mail: egorov@iptm.ru Е.В. Егоров - мл. науч. сотрудник, Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (г. Черноголовка, Моск. обл.). E-mail: hed1317@mail.ru М.С. Афанасьев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Институт радиотехники и электроники РАН (Москва - Фрязино, Моск. обл.). E-mail: michaela2005@yandex.ru Е.М. Лукьянченко - к.ф-м.н., науч. руководитель, ОАО «Полюс» (Санкт-Петербург). E-mail: emluk@mail.ru

Рассмотрены механизм волноводно-резонансного распространения потока квазимонохроматического характеристического рентгеновского излучения и устройство плоского рентгеновского волновода-резонатора (ПРВР). Определены направления повышения эффективности таких устройств и возможные сферы их практического применения. Экспериментально показана возможность управления параметрами потоков рентгеновского излучения наноразмерных сечений, формируемых на выходе ПРВР при внешнем воздействии на интерференционное поле стоячей рентгеновской волны.

 

1. Валиев К.А. Физика субмикронной литографии. М.: Наука. 1990. 528 с.
2. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. М.: Мир. 1985. 494 с.
3. Белая книга по нанотехнологиям, исследования в области наночастиц, наноструктур и нанокомпозитов в РФ / Под. ред. В.И.Аржанцева и др. М.: ЛКИ. 2008. 344 с.
4. Фелдман А., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир. 1989. 342 с.
5. Новотный Л., Хехт Б. Основы нанооптики. М.: Физматлит. 2009. 482 с.
6. Klockenkamper R., von Bohlen A. Total x-ray fluorescence analysis and related methods. New York: Wiley. 2015. 519 p.
7. Modern developments in X-ray and neutron optics / Eds. Erko A., Idir M., Krist T., Michette A.G. Berlin: Springer. 2008. 533 p.
8. Balz A.V. Fresnel zone plate for optical image formation using extreme ultraviolet soft x-ray radiation // J. Opt. Soc. Am. 1961. V. 51. p. 405-412.
9. Snigerev A., Kohn V., Snigereva L., Lengeler B.A. A compaund refractive lens for focusing high energy x-ray // Nature. 1996. V. 384. Р. 49-51.
10. Jark W., Di Fonzo S., Logomarsino S., Cedola A. and all. Properties of a submicrometer X-ray beam at the exit of a waveguide // Appl. Phys. 1996. V. 80. № 9. Р. 4831-4836.
11. Egorov V.K., Egorov E.V. Planar X-ray waveguide-resonator features // Trends in Appl. Spec. 2010. V. 8. P. 67-83.
12. Егоров В.К., Егоров Е.В. Технологические аспекты построения плоского рентгеновского волновода-резонатора // Поверхность (рентг., синхр., нейтр. исследования). 2013. № 7. С. 40-49.
13. Compton A.H. The total reflection of X-ray // Philos. Mag. 1923. V. 45. P. 1121-1131.
14. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука. 1973. 719 с.
15. Егоров В.К., Егоров Е.В. Экспериментальные исследования и модель формирования рентгеновских пучков наноразмерного диапазона // Поверхность (рентг., синхр., нейтр. исследования). 2005. № 12. C. 24-46.
16. Kumahov M., Komarov F. Multiple reflection from surface X-ray optics // Phys. Rep. 1990, V. 191. P. 289-352.
17. Егоров В.К., Егоров Е.В. Условия реализации радиационной сверхтекучести и некоторые свойства пучков, сформированных плоскими рентгеновскими волноводами-резонаторами // Поверхность (рентг., синхр., нейтр. исследования). 2007. № 1. С. 82-99.
18. Блохин М.А. Физика рентгеновских лучей. М.: ГИТТЛ. 1957. 518 с.
19. Мандель Л., Вольф Э. Оптическая когерентность и квантовая оптика. М.: Физматлит. 2000. 895 с.
20. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Электродинамика сплошных сред. М.: ГИФМЛ. 1959. С. 510-523.
21. Egorov V.K., Egorov E.V. Composite X-ray waveguide-resonator as a background for the new generation of the material testing equipment for films on Si substrate // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 2002. V. 716. Р. 189-195.
22. Егоров В.К., Егоров Е.В. Особенности рентгеновской нанофотоники в условиях воздействия оптического излучения // «Полупроводники-2015» / Материалы 12-й Росс. конф. по полупроводникам (21-25 сентября 2015 г., Ершово). М. 2015.С. 358.
23. Egorov V.K., Egorov E.V. Peculiarities of the planar waveguide-resonator application for TXRF spectrometry, Review // Advances in X-ray Chem. Anal. Japan. 2013. V. 44.Р. 21-40.